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基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型
精密测量与传感 | 更新时间：2024-10-10
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    • 基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型

    • Displacement sensing mechanism and measurement model of planar two-dimensional time-grating based on alternating magnetic field

    • “在超精密光刻领域，提出了基于空间交变磁场的平面二维位移测量方法，研制出毫米级尺寸的传感器，实现微米级测量精度，具有重要的理论研究意义和工程应用价值。”
    • 光学精密工程   2024年32卷第17期 页码：2612-2624

    • DOI：10.37188/OPE.20243217.2612    

      中图分类号： TH711

    • 纸质出版日期：2024-09-10，

      收稿日期：2024-02-27，

      修回日期：2024-04-09，

    移动端阅览

  • 陈自然,欧阳辉,张桁潇等.基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型[J].光学精密工程,2024,32(17):2612-2624. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2612.

    CHEN Ziran,OUYang hui,ZHANG Hengxiao,et al.Displacement sensing mechanism and measurement model of planar two-dimensional time-grating based on alternating magnetic field[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2612-2624. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2612.

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