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宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量
精密测量与传感 | 更新时间：2024-10-17
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    • 宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量

    • White-light interferometry immune to vibration disturbance over wide frequency region

    • “在白光干涉测量领域，三点反正弦算法有效抑制振动干扰，提高测量精度，为宽频段振动干扰下的测量提供解决方案。”
    • 光学精密工程   2024年32卷第17期 页码：2625-2634

    • DOI：10.37188/OPE.20243217.2625    

      中图分类号： TH742

    • 纸质出版日期：2024-09-10，

      收稿日期：2024-05-19，

      修回日期：2024-06-25，

    移动端阅览

  • 刘乾,密乐,黄小津.宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量[J].光学精密工程,2024,32(17):2625-2634. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2625.

    LIU Qian,MI Le,HUANG Xiaojin.White-light interferometry immune to vibration disturbance over wide frequency region[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2625-2634. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2625.

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