基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

罗凯元; 郑文炜; 杨霖

doi:10.37188/OPE.20243217.2654

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

精密测量与传感 | 更新时间：2026-09-11

- 基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量
- Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry
- 光学精密工程 2024年32卷第17期页码：2654-2662
- 作者机构：
  
  工业和信息化电子第五研究所计量检测中心，广东广州 511370
- 作者简介：
  
  罗凯元（1994-），男，广东揭阳人，学士，工程师，2016年于广东技术师范大学获得学士学位，主要从事几何量计量方向的校准及研究工作。E-mail：854386496@qq.com
  杨霖（1988-），男，江西东乡人，博士，高级工程师，2010年、2015年于清华大学分别获得学士和博士学位，主要从事光学精密计量测试、微纳米计量测试等方面的研究。E-mail: yanglin@ceprei.com
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划项目(2022YFF0606000)
- DOI：10.37188/OPE.20243217.2654
  中图分类号： TB921
- 收稿：2024-03-13，
  
  修回：2024-03-18，
  
  纸质出版：2024-09-10
- 稿件说明：
移动端阅览
罗凯元,郑文炜,杨霖.基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量[J].光学精密工程,2024,32(17):2654-2662.

LUO Kaiyuan,ZHENG Wenwei,YANG Lin.Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2654-2662.
罗凯元,郑文炜,杨霖.基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量[J].光学精密工程,2024,32(17):2654-2662. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2654.

LUO Kaiyuan,ZHENG Wenwei,YANG Lin.Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2654-2662. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2654.

浏览量

1887

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

复杂关节物体六自由度位姿估计与实时系统

光纤耦合系统中角位移台耦合误差建模与修正

基于Mamba架构的遥感图像超分辨率重建方法综述

数字散斑干涉应力应变同步测量

聚晶立方氮化硼脉冲激光烧蚀传热与去除规律

基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry

DOI：10.37188/OPE.20243217.2654