基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

罗凯元; 郑文炜; 杨霖

doi:10.37188/OPE.20243217.2654

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基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

精密测量与传感 | 更新时间：2024-10-17

- 基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量
- Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry
- “在精密测量领域，专家提出了基于激光干涉仪原理的多轴运动平台垂直度在线测量方法，构建了多轴激光干涉垂直度测量装置，实现了高效率、高精度的垂直度在线测量。”
- 光学精密工程 2024年32卷第17期页码：2654-2662
- 作者机构：
  
  工业和信息化电子第五研究所计量检测中心，广东广州 511370
- 作者简介：
  
  [ "罗凯元（1994-），男，广东揭阳人，学士，工程师，2016年于广东技术师范大学获得学士学位，主要从事几何量计量方向的校准及研究工作。E-mail：854386496@qq.com" ]
  [ "杨霖（1988-），男，江西东乡人，博士，高级工程师，2010年、2015年于清华大学分别获得学士和博士学位，主要从事光学精密计量测试、微纳米计量测试等方面的研究。E-mail: yanglin@ceprei.com" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划项目(2022YFF0606000)
- DOI：10.37188/OPE.20243217.2654
  中图分类号： TB921
- 收稿日期：2024-03-13，
  
  修回日期：2024-03-18，
  
  纸质出版日期：2024-09-10
- 稿件说明：
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罗凯元,郑文炜,杨霖.基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量[J].光学精密工程,2024,32(17):2654-2662.

LUO Kaiyuan,ZHENG Wenwei,YANG Lin.Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2654-2662.
罗凯元,郑文炜,杨霖.基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量[J].光学精密工程,2024,32(17):2654-2662. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2654.

LUO Kaiyuan,ZHENG Wenwei,YANG Lin.Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2654-2662. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2654.

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基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry

DOI：10.37188/OPE.20243217.2654