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接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合
精密测量与传感 | 更新时间:2024-10-17
    • 接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合

    • Coordinate unification and data fusion for composite measurement with contact and white light interferometric probes

    • 在复合测量领域,专家提出了坐标统一方法,设计新型标定器,实现高精度坐标统一与数据融合,提升器件测量能力。
    • 光学精密工程   2024年32卷第17期 页码:2698-2707
    • DOI:10.37188/OPE.20243217.2698    

      中图分类号: TH72
    • 纸质出版日期:2024-09-10

      收稿日期:2024-05-10

      修回日期:2024-06-09

    移动端阅览

  • 程真英,徐东见,张成瑶等.接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合[J].光学精密工程,2024,32(17):2698-2707. DOI: 10.37188/OPE.20243217.2698.

    CHENG Zhenying,XU Dongjian,ZHANG Chengyao,et al.Coordinate unification and data fusion for composite measurement with contact and white light interferometric probes[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2698-2707. DOI: 10.37188/OPE.20243217.2698.

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