一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

陆天石; 邓富元; 李星辉

doi:10.37188/OPE.20243221.3147

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11

- 一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工
- Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings
- 光学精密工程 2024年32卷第21期页码：3147-3156
- 作者机构：
  
  1.清华大学深圳国际研究生院，广东深圳 518055
  2.清华-伯克利深圳学院，广东深圳 518055
- 作者简介：
  
  陆天石（1996-），男，江苏南京人，博士研究生，2020年于澳大利亚国立大学获得学士学位，主要从事全息光刻光栅的研究。E-mail： luts21@mails.tsinghua.edu.cn
  李星辉（1985-），男，河南洛阳人，副教授，博士生导师，2008年于武汉大学获得学士学位，2011年于西安交通大学获得硕士学位，2014年于日本东北大学获得博士学位，主要从事信息光学与衍射光栅、微纳光学制造、光栅干涉与光谱分析、结构光三维重建、智能视觉检测的研究。E-mail：li.xinghui@mails.tsinghua.edu.cn
- 基金信息：
  
  广东省基础与应用基础研究基金(2021B1515120007)
- DOI：10.37188/OPE.20243221.3147
  中图分类号： TH74;TN305.7
- 收稿：2024-06-13，
  
  修回：2024-07-19，
  
  纸质出版：2024-11-10
- 稿件说明：
移动端阅览
陆天石,邓富元,李星辉.一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工[J].光学精密工程,2024,32(21):3147-3156.

LU Tianshi,DENG Fuyuan,LI Xinghui.Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(21):3147-3156.
陆天石,邓富元,李星辉.一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工[J].光学精密工程,2024,32(21):3147-3156. DOI： 10.37188/OPE.20243221.3147.

LU Tianshi,DENG Fuyuan,LI Xinghui.Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(21):3147-3156. DOI： 10.37188/OPE.20243221.3147.

浏览量

1279

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于通道注意力增强网络的高效消色差超透镜逆向设计

数字散斑干涉应力应变同步测量

基于灵敏度矩阵的高阶非球面自动干涉检测

基于Mamba架构的遥感图像超分辨率重建方法综述

聚晶立方氮化硼脉冲激光烧蚀传热与去除规律

一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings

DOI：10.37188/OPE.20243221.3147