一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

陆天石; 邓富元; 李星辉

doi:10.37188/OPE.20243221.3147

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一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

现代应用光学 | 更新时间：2024-12-24

- 一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工
- Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings
- “最新研究报道，亚波长光栅偏振选择器件在遥感探测等领域应用前景广阔，实现了高消光比和高透过率，为相关技术发展提供新思路。”
- 光学精密工程 2024年32卷第21期页码：3147-3156
- 作者机构：
  
  1.清华大学深圳国际研究生院，广东深圳 518055
  2.清华-伯克利深圳学院，广东深圳 518055
- 作者简介：
  
  [ "陆天石（1996-），男，江苏南京人，博士研究生，2020年于澳大利亚国立大学获得学士学位，主要从事全息光刻光栅的研究。E-mail： luts21@mails.tsinghua.edu.cn" ]
  [ "李星辉（1985-），男，河南洛阳人，副教授，博士生导师，2008年于武汉大学获得学士学位，2011年于西安交通大学获得硕士学位，2014年于日本东北大学获得博士学位，主要从事信息光学与衍射光栅、微纳光学制造、光栅干涉与光谱分析、结构光三维重建、智能视觉检测的研究。E-mail：li.xinghui@mails.tsinghua.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  广东省基础与应用基础研究基金资助项目(2021B1515120007)
- DOI：10.37188/OPE.20243221.3147
  中图分类号： TH74;TN305.7
- 纸质出版日期：2024-11-10，
  
  收稿日期：2024-06-13，
  
  修回日期：2024-07-19，
- 稿件说明：
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陆天石,邓富元,李星辉.一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工[J].光学精密工程,2024,32(21):3147-3156.

LU Tianshi,DENG Fuyuan,LI Xinghui.Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(21):3147-3156.
陆天石,邓富元,李星辉.一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工[J].光学精密工程,2024,32(21):3147-3156. DOI： 10.37188/OPE.20243221.3147.

LU Tianshi,DENG Fuyuan,LI Xinghui.Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(21):3147-3156. DOI： 10.37188/OPE.20243221.3147.

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一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

Holographic lithography of one-dimensional subwavelength infrared polarization gratings

DOI：10.37188/OPE.20243221.3147