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复合腔高温法珀加速度传感器的设计与实验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-12-24

    • 复合腔高温法珀加速度传感器的设计与实验

    • Design and experiment of high temperature Fabry-Perot acceleration sensor with composite cavity

    • “在铅铋堆高温高压液态金属流动环境下，研究人员开发了一种基于MEMS工艺的复合腔高温法珀加速度传感器，实现了高灵敏度、小量程振动监测，有望有效监测燃料组件磨损状态。”
    • 光学精密工程   2024年32卷第21期 页码：3174-3183

    • DOI：10.37188/OPE.20243221.3174    

      中图分类号： TP212

    • 收稿日期：2024-05-11，

      修回日期：2024-06-26，

      纸质出版日期：2024-11-10

    移动端阅览

  • 秦锋,郑渟渟,谭佳航等.复合腔高温法珀加速度传感器的设计与实验[J].光学精密工程,2024,32(21):3174-3183. DOI： 10.37188/OPE.20243221.3174.

    QIN Feng,ZHENG Tingting,TAN Jiahang,et al.Design and experiment of high temperature Fabry-Perot acceleration sensor with composite cavity[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(21):3174-3183. DOI： 10.37188/OPE.20243221.3174.

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相关作者

纪峰
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合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院
测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
哈尔滨工业大学 空间光学工程研究中心
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北京交通大学 发光与光信息技术教育部重点实验室
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