采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板

胡洋洋; 朱 荻; 李寒松

doi:10.3788/OPE.20101808.1793

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采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板
- Fabrication of metal micro hole array by using over-plating technology
- 光学精密工程 2010年18卷第8期页码：1793-1800
- 作者机构：
  
  南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏南京,210016
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA044205)();国家自然科学基金重点资助项目(No.50635040)();江苏省自然科学基金资助项目(No
- DOI：10.3788/OPE.20101808.1793
  中图分类号： TG662;TN305.7
- 收稿日期：2009-10-09，
  
  修回日期：2009-11-26，
  
  网络出版日期：2010-08-20，
  
  纸质出版日期：2010-08-20
- 稿件说明：
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胡洋洋, 朱荻, 李寒松. 采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板[J]. 光学精密工程, 2010,18(8): 1793-1800

HU Yang-yang, ZHU Di, LI Han-song. Fabrication of metal micro hole array by using over-plating technology[J]. 光学精密工程, 2010,18(8): 1793-1800
胡洋洋, 朱荻, 李寒松. 采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板[J]. 光学精密工程, 2010,18(8): 1793-1800 DOI： 10.3788/OPE.20101808.1793.

HU Yang-yang, ZHU Di, LI Han-song. Fabrication of metal micro hole array by using over-plating technology[J]. 光学精密工程, 2010,18(8): 1793-1800 DOI： 10.3788/OPE.20101808.1793.

摘要

针对制作尺度

10 m的超小微细阵列网板非常困难的问题

提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型

利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶 120 ℃/60 min

曝光 3 000 mJ/cm

显影 2 min等)利用光刻制作了高度为50 m、直径为50 m的AZ EXP 125nXT-10A光刻胶群柱结构

以此胶膜结构作为模具进行了过电铸工艺实验

并与仿真结果进行对比

结果证明了有限元仿真的正确性。最后

通过过电铸缩孔2 h获得了厚度达70 m

孔径为4 m的微细阵列网板结构。实验表明

过电铸工艺是一种低廉、安全、可批量生产的制作超小阵列网板的方法。

Abstract

The over-plating technology was introduced to fabricate micro hole arrays

for it is difficult to fabricate a micro hole array with the size less than 10 m by traditional methods. A mathematical model was presented to simulate the over-plating process by Finite Element Method (FEM). Using the optimized parameters (bake 120 ℃/60 min

exposure 3 000 mJ/cm

and development 2 min)

the AZ EXP 125nXT-10A resist structure in a diameter of 50 m and a height of 50 m was prepared

and then the over-plating technology was employed to shrink the micro hole. The experimental result shows that the simulation result is correct. Finally

a micro hole array in a diameter of 4 m and a height of 70 m was fabricated after over-plating 2 h. The result indicates that over-plating is a simple and low cost method to fabricate micro hole array

and it is suitable for batch production.

关键词

Keywords

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