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基于图像清晰度检测的光栅刻划平台调平装置
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 基于图像清晰度检测的光栅刻划平台调平装置

    • Grating ruling platform leveling device based on image clarity measurement

    • 光学精密工程   2016年24卷第4期 页码:819-825
    • DOI:10.3788/OPE.20162404.0819    

      中图分类号: TN305.7
    • 收稿日期:2015-12-01

      修回日期:2016-01-20

      纸质出版日期:2016-04-25

    移动端阅览

  • 丁健生, 史国权, 石广丰. 基于图像清晰度检测的光栅刻划平台调平装置[J]. 光学精密工程, 2016,24(4): 819-825 DOI: 10.3788/OPE.20162404.0819.

    DING Jian-sheng, SHI Guo-quan, SHI Guang-feng. Grating ruling platform leveling device based on image clarity measurement[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2016,24(4): 819-825 DOI: 10.3788/OPE.20162404.0819.

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