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电致发光缺陷检测仪的成像性能评估
现代应用光学 | 更新时间:2020-07-07
    • 电致发光缺陷检测仪的成像性能评估

    • Evaluation of imaging performance for electroluminescence defect detector

    • 光学 精密工程   2017年25卷第6期 页码:1418-1424
    • DOI:10.3788/OPE.20172506.1418    

      中图分类号: TM914.4
    • 收稿日期:2017-02-14

      录用日期:2017-3-20

      纸质出版日期:2017-06-25

    移动端阅览

  • 林剑春, 杨爱军, 沈熠辉. 电致发光缺陷检测仪的成像性能评估[J]. 光学 精密工程, 2017,25(6):1418-1424. DOI: 10.3788/OPE.20172506.1418.

    Jian-chun LIN, Ai-jun YANG, Yi-hui SHEN. Evaluation of imaging performance for electroluminescence defect detector[J]. Optics and precision engineering, 2017, 25(6): 1418-1424. DOI: 10.3788/OPE.20172506.1418.

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