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基于平均功率平衡控制的磁悬浮分子泵电力失效补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 基于平均功率平衡控制的磁悬浮分子泵电力失效补偿

    • Power failure compensation method for magnetically suspended TMP based on average power balance control

    • 光学 精密工程   2019年27卷第2期 页码:341-351
    • DOI:10.3788/OPE.20192702.0341    

      中图分类号: TM351;TM355
    • 收稿日期:2018-07-09

      录用日期:2018-8-30

      纸质出版日期:2019-02-15

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  • 李腾, 毛琨, 韩邦成. 基于平均功率平衡控制的磁悬浮分子泵电力失效补偿[J]. 光学 精密工程, 2019,27(2):341-351. DOI: 10.3788/OPE.20192702.0341.

    Teng LI, Kun MAO, Bang-cheng HAN. Power failure compensation method for magnetically suspended TMP based on average power balance control[J]. Optics and precision engineering, 2019, 27(2): 341-351. DOI: 10.3788/OPE.20192702.0341.

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