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计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13

    • 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动

    • Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope

    • “在计量型扫描电镜位移系统领域，专家通过仿真分析，深入研究了机械位移台的振动参数。通过静力及模态分析，获取了机械位移台的结构振动特性；进一步进行谐响应分析，揭示了外界载荷频率与位移台应力、应变、变形及加速度的关系。研究结果显示，机械位移台在特定频率下存在危险振动，需在后续改进中避免并进行位移补偿。”
    • 光学 精密工程   2019年27卷第4期 页码：860-867

    • DOI：10.3788/OPE.20192704.0860    

      中图分类号： TH703.8

    • 收稿日期：2018-11-30，

      录用日期：2019-1-2，

      纸质出版日期：2019-04-15

    移动端阅览

  • 杜晨辉, 龚亮, 蔡小勇, 等. 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动[J]. 光学 精密工程, 2019,27(4):860-867. DOI： 10.3788/OPE.20192704.0860.

    Chen-hui DU, Liang GONG, Xiao-yong CAI, et al. Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope[J]. Optics and precision engineering, 2019, 27(4): 860-867. DOI： 10.3788/OPE.20192704.0860.

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