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基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2023-04-18

    • 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

    • Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser

    • 光学 精密工程   2020年28卷第3期 页码：584-590

    • DOI：10.3788/OPE.20202803.0584    

      中图分类号：

    • 收稿日期：2019-12-18，

      录用日期：2020-1-15，

      纸质出版日期：2020-03-15

    移动端阅览

  • 袁宏伟, 饶生龙, 吴东, 等. 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动[J]. 光学 精密工程, 2020,28(3):584-590. DOI： 10.3788/OPE.20202803.0584.

    Hong-wei YUAN, Sheng-long RAO, Dong WU, et al. Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser[J]. Optics and precision engineering, 2020, 28(3): 584-590. DOI： 10.3788/OPE.20202803.0584.

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