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大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2023-04-18

    • 大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺

    • Optimization of development process for fabrication of high aspect ratio gratings

    • 光学 精密工程   2020年28卷第3期 页码：632-638

    • DOI：10.3788/OPE.20202803.0632    

      中图分类号：

    • 收稿日期：2019-10-18，

      录用日期：2019-11-11，

      纸质出版日期：2020-03-15

    移动端阅览

  • 王艺, 侯双月, 熊瑛, 等. 大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺[J]. 光学 精密工程, 2020,28(3):632-638. DOI： 10.3788/OPE.20202803.0632.

    Yi WANG, Shuang-yue HOU, Ying XIONG, et al. Optimization of development process for fabrication of high aspect ratio gratings[J]. Optics and precision engineering, 2020, 28(3): 632-638. DOI： 10.3788/OPE.20202803.0632.

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