基于自注意力神经网络的低信噪比光谱干涉膜厚测量

王晨; 王子政; 刘曌燃; 姚程源; 胡春光

doi:10.37188/OPE.20253309.1341

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基于自注意力神经网络的低信噪比光谱干涉膜厚测量

现代应用光学 | 更新时间：2025-07-01

- 基于自注意力神经网络的低信噪比光谱干涉膜厚测量
- Low signal-to-noise ratio spectral interferometry film thickness measurement based on self-attention neural network
- “在薄膜厚度测量领域，专家提出了基于自注意力神经网络的测量方法，有效提升低信噪比光谱数据的测量稳定性。”
- 光学精密工程 2025年33卷第9期页码：1341-1352
- 作者机构：
  
  天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室，天津 300072
- 作者简介：
  
  [ "王晨（2000-），女，江苏苏州人，硕士研究生，2022年于天津大学获得学士学位，主要从事光谱精密测量技术的研究。E-mail： chenywang@tju.edu.cn" ]
  [ "胡春光（1981-），男，河南光山人，博士，教授，博士生导师，2002年、2007年于天津大学分别获得学士和博士学位，主要从事微纳测试技术的研究。E-mail： cghu@tju.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2022YFF0708300);国家自然科学基金面上项目(52475566)
- DOI：10.37188/OPE.20253309.1341
  中图分类号： TH741
- CSTR：32169.14.OPE.20253309.1341
- 收稿日期：2025-03-03，
  
  修回日期：2025-03-25，
  
  纸质出版日期：2025-05-10
- 稿件说明：
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王晨,王子政,刘曌燃等.基于自注意力神经网络的低信噪比光谱干涉膜厚测量[J].光学精密工程,2025,33(09):1341-1352.

WANG Chen,WANG Zizheng,LIU Zhaoran,et al.Low signal-to-noise ratio spectral interferometry film thickness measurement based on self-attention neural network[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(09):1341-1352.
王晨,王子政,刘曌燃等.基于自注意力神经网络的低信噪比光谱干涉膜厚测量[J].光学精密工程,2025,33(09):1341-1352. DOI： 10.37188/OPE.20253309.1341. CSTR： 32169.14.OPE.20253309.1341.

WANG Chen,WANG Zizheng,LIU Zhaoran,et al.Low signal-to-noise ratio spectral interferometry film thickness measurement based on self-attention neural network[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(09):1341-1352. DOI： 10.37188/OPE.20253309.1341. CSTR： 32169.14.OPE.20253309.1341.

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