微束斑RHEED类平行束电子枪设计

赵伟霞; 史丽娜; 刘俊标; 殷伯华; 韩立

doi:10.37188/OPE.20253312.1876

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微束斑RHEED类平行束电子枪设计

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2025-08-04

- 微束斑RHEED类平行束电子枪设计
- Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction
- “在微电子制造与表面分析领域，专家研制了微束斑RHEED类平行束电子枪，分析电子光学系统特性，通过仿真设计低像差聚焦透镜，实验获得清晰衍射斑点。”
- 光学精密工程 2025年33卷第12期页码：1876-1888
- 作者机构：
  
  1.中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部，北京 100190
  2.中国科学院大学电子电气与通信工程学院，北京 100049
- 作者简介：
  
  [ "赵伟霞（1989-），女，河北邯郸人，助理研究员，中国科学院大学博士研究生，2012年于燕山大学获得学士学位，2015年于北京航空航天大学获得硕士学位，主要从事电子束检测与多束技术方面的研究。E-mail： zhaowx@mail.iee.ac.cn" ]
  [ "刘俊标（1974-），男，福建莆田人，博士，研究员，硕士生导师，就职于中国科学院电工研究所，长期从事电子光学、微焦点射线源、电子束及应用等技术方面的研究。E-mail：liujb@mail.iee.ac.cn" ]
  [ "韩立（1970-），男，山西壶关人，博士，研究员，博士生导师，就职于中国科学院电工研究所，长期从事微米/纳米加工和测量、电子束曝光设备的研制和高压电子束曝光特性的研究。E-mail：lihan@mail.iee.ac.cn" ]
- 基金信息：
  
  中国科学院科研仪器设备研制项目(PTYQ2024BJ0004)
- DOI：10.37188/OPE.20253312.1876
  中图分类号： TN16
- CSTR：32169.14.OPE.20253312.1876
- 收稿日期：2025-03-10，
  
  修回日期：2025-05-15，
  
  纸质出版日期：2025-06-25
- 稿件说明：
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赵伟霞,史丽娜,刘俊标等.微束斑RHEED类平行束电子枪设计[J].光学精密工程,2025,33(12):1876-1888.

ZHAO Weixia,SHI Lina,LIU Junbiao,et al.Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(12):1876-1888.
赵伟霞,史丽娜,刘俊标等.微束斑RHEED类平行束电子枪设计[J].光学精密工程,2025,33(12):1876-1888. DOI： 10.37188/OPE.20253312.1876. CSTR： 32169.14.OPE.20253312.1876.

ZHAO Weixia,SHI Lina,LIU Junbiao,et al.Design of a quasi-parallel beam electron gun with micro beam spot for Reflection High Energy Electron Diffraction[J].Optics and Precision Engineering,2025,33(12):1876-1888. DOI： 10.37188/OPE.20253312.1876. CSTR： 32169.14.OPE.20253312.1876.

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