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细束径离子束变去除函数加工工艺及补偿
现代应用光学 | 更新时间：2026-02-14

    • 细束径离子束变去除函数加工工艺及补偿

    • Machining process and compensation for variable removal function with fine-diameter ion beams

    • “在高精度光学加工领域，专家们建立了细束径离子束变去除函数补偿模型，通过控制驻留时间和进给速度，有效提高了加工收敛率，为亚纳米光学加工提供了稳定可靠的解决方案。”
    • 光学精密工程   2026年34卷第3期 页码：353-364

    • DOI：10.37188/OPE.20263403.0353    

      中图分类号： TN305.2
    • CSTR：32169.14.OPE.20263403.0353    

    • 收稿：2025-12-09，

      修回：2025-12-29，

      纸质出版：2026-02-10

    移动端阅览

  • 毛旭,张峰,唐瓦等.细束径离子束变去除函数加工工艺及补偿[J].光学精密工程,2026,34(03):353-364.

    MAO Xu,ZHANG Feng,TANG Wa,et al.Machining process and compensation for variable removal function with fine-diameter ion beams[J].Optics and Precision Engineering,2026,34(03):353-364.

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相关作者

胡海翔
卞萌
王孝坤
张学军
白杨
李丽富
邓伟杰
郑立功

相关机构

中国科学院大学
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学, 北京 100049
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院 研究生院
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