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应用纳米级金刚石抛光亚纳米级光滑表面
应用纳米级金刚石抛光亚纳米级光滑表面
Application of UFD on Polishing Surfaces with Sub nanometer Scale Roughness
- 光学精密工程 1999年7卷第5期 页码:80-84
修回:1999-7-21
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