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数控抛光中不同运动方式下小抛光盘抛光特性之比较
数控抛光中不同运动方式下小抛光盘抛光特性之比较
Polishing Performance Comparison of Small Polishing Pad Worked in Different Motion Model in Computer Controlled Optical Polishing
- 光学精密工程 1999年7卷第5期 页码：73-79
修回：1999-5-21
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