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准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究
准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究
Application of the Excimer Laser Etching Technology in Micromachine
- 光学精密工程 1999年7卷第5期 页码：63-66
修回：1999-7-25
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