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薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究
薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究
Study of Microfabrication and Error Calibration for Multilevel Diffractive Optical Element by Thin Film Deposition
- 光学精密工程 1999年7卷第5期 页码:67-72
修回:1999-7-26
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