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多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器
更新时间：2024-09-30
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    • 多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器

    • Absolute planar two-dimensional time-grating displacement sensor with multi-frequency magnetic field coupling

    • “在精密测量领域，研究者设计了一种新型绝对式平面二维时栅位移传感器，通过多频磁场耦合技术，实现了无需上电找零的一体式二维绝对位移测量与定位，有效测量范围达147毫米乘147毫米，X、Y方向原始测量误差控制在20微米左右。”
    • 杨继森 ，修府 ，张静 ，袁俊松 ，张小龙
    • 光学精密工程 2024年 页码：1-18

    • 修回：2024-08-27 ，

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