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双向高过载硅基差压敏感元件的研制
更新时间：2025-01-08
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    • 双向高过载硅基差压敏感元件的研制

    • Development of bi-directional high overload silicon-based differential pressure sensitive element

    • “在差压传感器领域，研究人员设计了梁-群岛错位膜结构差压敏感元件，有效提高了双向过载能力。”
    • 杜立群 ，李奥奇 ，李蒙 ，杨晓臣 ，孟祥悦 ，邱汇烽
    • 光学精密工程 2025年 页码：1-11

    • 修回：2024-12-26 ，

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相关作者

杜立群
李奥奇
陈斐璐
郑园成
孙建美
陈伟
王驰
王循

相关机构

上海大学 精密机械工程系
中国科学院大学
中国科学院 天基动态快速光学成像技术重点实验室
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室