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三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器

    • column:Three-DoF weakly coupled resonator micro-balance for mass detection

    • 肖奇军 ，罗忠辉 ，郭大为
    • 光学精密工程 2021年29卷第2期 页码：297-304

    • DOI： 10.37188/OPE.20212902.0297     

      中图分类号：

    • 修回：2020-09-21 ，

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