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具有“前进-前进”运动模式的惯性压电驱动器
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 具有“前进-前进”运动模式的惯性压电驱动器

    • Piezoelectric inertial actuator with “forward-forward” motion mode

    • 胡意立 ，胡影 ，李建平 ，温建明 ，兰虎
    • 光学精密工程 2021年29卷第6期 页码：1356-1364

    • DOI： 10.37188/OPE.20212906.1356     

      中图分类号：

    • 修回：2020-12-17 ，

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