您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
工艺误差影响下微电热驱动器失效分析
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
上一篇|下一篇

    • 工艺误差影响下微电热驱动器失效分析

    • Failure analysis of electro-thermal micro-actuator under effect of process error

    • 陈浩 ，曹云 ，王新杰 ，王炅 ，席占稳 ，聂伟荣
    • 光学精密工程 2021年29卷第6期 页码：1365-1374

    • DOI： 10.37188/OPE.20212906.1365     

      中图分类号：

    • 修回：2020-09-16 ，

    移动端阅览

  •  
  •  

  • HTML全文

  • 图( 14 ) 表( 4 )

  • 参考文献

  • 出版信息

  • 数据统计

论文导航
icon
试读结束，您可以激活您的VIP账号继续阅读。
去激活 >
icon
试读结束，您可以通过登录账户，到个人中心，购买VIP会员阅读全文。
已是VIP会员？
去登录 >

355

浏览量

768

下载量

4

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
  • BibTeX下载
  • Endnote下载
  • RefMan 下载
  • NoteExpress下载
  • NoteFirst下载

相关文章

高超声速飞行器的反步滑模神经网络控制系统
测量误差不确定性加权的立体视觉位姿估计目标函数
基于扩张状态观测器的炮控系统串联滑模控制
数字散斑干涉应力应变同步测量
地基空间目标望远镜全天时探测能力特性模型设计及实现

相关作者

刘蓉
黄大庆
姜定国
霍炬
张贵阳
崔家山
杨明
马晓军

相关机构

南京航空航天大学 无人机研究院
中国人民解放军第5311工厂
哈尔滨工业大学 航天学院
哈尔滨工业大学 电气工程与自动化学院
中国航天科工集团8357研究所