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精密气浮转台变带宽线性自抗扰控制
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-12
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    • 精密气浮转台变带宽线性自抗扰控制

    • Variable bandwidth linear active disturbance rejection control for high-precision air flotation turntable

    • 王福全 ，郑鑫 ，周智勇 ，段黎明
    • 光学精密工程 2021年29卷第7期 页码：1589-1597

    • DOI： 10.37188/OPE.20212907.1589     

      中图分类号：

    • 修回：2021-02-23 ，

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相关作者

段黎明
周智勇
郑鑫
王福全
黄浦
杨秀丽
修吉宏
李军

相关机构

中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所中国科学院航空光学成像与测量重点实验室
空军航空大学
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 小卫星技术国家地方联合工程研究中心
中国科学院大学
中国科学院 研究生院