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极紫外正入射光学系统研究进展
极紫外正入射光学系统研究进展
Research progress of normal-incidence optical system at extreme ultraviolet （EUV） wavelength
- 光学精密工程 2022年30卷第21期 页码：2678-2687
DOI： 10.37188/OPE.20223021.2678
修回：2022-09-06
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相关机构
中国科技大学 国家同步辐射实验室
中国科学院 高能物理所 同步辐射实验室
同济大学 物理系 精密光学工程与技术研究所
工业和信息化部 空天集成电路与微系统重点实验室
微波光子技术国家级重点实验室
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