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极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测
极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测
Ultra-precision machining and testing of reflector mirrors for extreme ultraviolet and X-ray
- 光学精密工程 2022年30卷第21期 页码：2688-2697
DOI： 10.37188/OPE.20223021.2688
修回：2022-08-11
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同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所，先进微结构材料教育部;重点实验室，上海市数字光学前沿科学研究基地，上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
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