您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤
薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤
Nanosecond extreme ultraviolet radiation damage on thin film mirrors
- 光学精密工程 2022年30卷第21期 页码：2698-2710
DOI： 10.37188/OPE.20223021.2698
修回：2022-08-22
移动端阅览
HTML全文
图( 9 ) 表( 0 )
参考文献
出版信息
数据统计
965
浏览量
1813
下载量
0
CSCD
文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
- BibTeX下载
- Endnote下载
- RefMan 下载
- NoteExpress下载
- NoteFirst下载
相关文章
极紫外正入射光学系统研究进展
极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件
17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究
相关作者
王占山
张众
李文斌
陈晟昊
黄秋实
伊圣振
张哲
沈正祥
相关机构
同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所，先进微结构材料教育部重点实验室，上海市数字光学前沿科学研究基地，上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
长春理工大学 理学院
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学技术大学 国家同步辐射实验室
同济大学 物理系 精密光学工程与技术研究所
AI问答
