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ICP快速大面积制备三维内部联通蜂窝状微孔阵列
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • ICP快速大面积制备三维内部联通蜂窝状微孔阵列

    • Rapid ICP-based fabrication of large-area silicon three-dimensional interconnected honeycomb microwell array

    • 李政昊 ，吕枭 ，李寰 ，成龙 ，周文超 ，吴一辉
    • 光学精密工程 2023年31卷第15期 页码：2227-2235

    • DOI： 10.37188/OPE.20233115.2227     

      中图分类号：

    • 修回：2023-02-01 ，

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