三轴电磁-压电混合驱动快速刀具伺服的轨迹跟踪控制

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三轴电磁-压电混合驱动快速刀具伺服的轨迹跟踪控制

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

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- 三轴电磁-压电混合驱动快速刀具伺服的轨迹跟踪控制
- Trajectory tracking control for tri-axial fast tool servo using hybrid electromagnetic-piezoelectric actuation
- 朱志远，朱紫辉，周晓勤，朱利民，朱志伟
- 光学精密工程 2023年31卷第15期页码：2236-2247
- 作者机构：
  1.南京理工大学机械工程学院，江苏南京 210094
  2.吉林大学机械与航空航天工程学院，吉林长春 130025
  3.上海交通大学机械与动力工程学院，上海 200240
- 作者简介：
  朱志远（1997-），男，安徽合肥人，硕士研究生，2020年于安徽理工大学获得学士学位，主要从事智能微纳驱动控制的研究。E-mail：zy.zhu@njust.edu.cn
  朱志伟（1988-），男，江苏南通人，教授，博士生导师，2010年、2013年于吉林大学分别获得学士和硕士学位，2016年于香港理工大学获得博士学位，主要研究方向为先进光学制造与检测技术、微纳驱动与控制技术。E-mail： zw.zhu@njust.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金资助项目(52275437;U2013211);江苏省自然科学基金资助项目(BK20211572)
- DOI： 10.37188/OPE.20233115.2236
  中图分类号：
- 修回：2023-04-24 ，
- 稿件说明：
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