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多光谱硫化锌光学窗口离子束抛光工艺研究及参数优化
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 多光谱硫化锌光学窗口离子束抛光工艺研究及参数优化

    • Ion beam polishing process parameters optimization and polishing experiment of ZnS

    • “多光谱硫化锌因在近、中、远红外等多个光谱波段具有较高的光学透率，广泛应用于红外光学制导导引头、光电探测雷达、机载光电吊舱，介绍了其在红外光学元件加工领域的研究进展，研究团队建立了离子束组合抛光工艺体系，探索了工艺参数优化方法，为解决多光谱硫化锌超高面形精度加工难题提供解决方案。”
    • 蔡根 ，朱蓓蓓 ，秦琳 ，张楚鹏 ，陈肖
    • 光学精密工程 2024年32卷第14期 页码：2247-2255

    • DOI： 10.37188/OPE.20243214.2247     

      中图分类号：

    • 修回：2024-05-29 ，

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