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基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型
精密测量与传感 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型

    • Displacement sensing mechanism and measurement model of planar two-dimensional time-grating based on alternating magnetic field

    • “研究团队提出基于空间交变磁场的平面二维位移测量方法，通过"维度判断+位移解耦"的组合测量模型实现平面二维位移测量，在120 mm×120 mm范围内实现微米级精度，突破了传统传感器对超精密光刻的制约。”
    • 陈自然 ，欧阳辉 ，张桁潇 ，彭凯 ，王伟 ，崔南川
    • 光学精密工程 2024年32卷第17期 页码：2612-2624

    • DOI： 10.37188/OPE.20243217.2612     

      中图分类号：

    • 修回：2024-04-09 ，

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