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宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量
精密测量与传感 | 更新时间：2026-09-11
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    • 宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量

    • White-light interferometry immune to vibration disturbance over wide frequency region

    • “"三点反正弦法将干涉图序列中每相邻三幅分为一组，利用扫描过程中干涉条纹连续移动的特点，从每组干涉图的有效条纹区域计算出相移偏差"，研究人员提出新算法抑制白光干涉测量振动干扰，在10μm台阶高度下实现0.5%测量精度。”
    • 刘乾 ，密乐 ，黄小津
    • 光学精密工程 2024年32卷第17期 页码：2625-2634

    • DOI： 10.37188/OPE.20243217.2625     

      中图分类号：

    • 修回：2024-06-25 ，

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