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晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价

    • Adaptive focusing evaluation algorithm for optical imaging of wafer positioning marks

    • “研究人员提出了一种基于多向梯度方差的自适应聚焦评价算法，通过特征边缘像素点自适应采样、联立Brenner函数和Roberts函数构建多向梯度评价函数，并对方差计算优化抗噪性，为实现晶圆定位标记高灵敏度自动聚焦提供了更优计算策略。”
    • 杨金 ，张航瑛 ，孟凯 ，楼佩煌
    • 光学精密工程 2025年33卷第3期 页码：389-401

    • DOI： 10.37188/OPE.20253303.0389     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253303.0389     

    • 修回：2024-12-18 ，

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