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真空吸附装夹对镜片面形调控的影响
真空吸附装夹对镜片面形调控的影响
Influence of vacuum adsorption mounting on adjustment of lens surface shape
- “真空吸附装夹可使镜片受力均匀,减少表面划伤,广泛应用于光机系统加工装配领域。研究人员基于圆周简支平板变形理论和薄板理论,探索了不同接触状态和真空度对镜片变形的影响规律,建立了流固耦合模型验证真空吸附调控镜片面形方法的可行性。实验表明,负压吸附后镜片面形误差由10 μm降至7 μm内,间隙由9 μm降至4 μm以内,验证了该方法的有效性,为提高镜片加工和装配精度提供了新方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第3期 页码:416-426
DOI: 10.37188/OPE.20253303.0416
- CSTR: 32169.14.OPE.20253303.0416
修回:2024-12-24
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