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宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 宏-微-纳跨尺度粘滑型压电驱动器动力学建模与试验评价

    • Dynamic modeling and experimental evaluation of Macro-Micro-Nano cross-scale stick-slip piezoelectric actuators

    • “研究团队开发了一种粘滑型压电驱动器，实现了宏-微-纳跨尺度精密驱动，最大空载速度20.3 mm/s，定位分辨率70 nm，为扫描电镜光学系统内部光阑板驱动及晶圆检测平台应用提供了重要的理论与实验依据。”
    • 云浩 ，陈延龙 ，原路生 ，李京顺 ，张登攀
    • 光学精密工程 2025年33卷第20期 页码：3252-3264

    • DOI： 10.37188/OPE.20253320.3252     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253320.3252     

    • 修回：2025-08-09 ，

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相关作者

田大鹏
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薛立伟
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相关机构

中国科学院大学
动态光学成像与测量全国重点实验室/中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
高效洁净机械制造教育部重点实验室
山东大学 机械工程学院
中国空气动力研究与发展中心 超高速空气动力研究所