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微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿

    • Miniature high-precision grating displacement sensor design and error compensation

    • “微型光栅位移传感器突破受限空间测量难题，"设计'W'形反射式折叠光路结构以压缩传感器体积，将传感器探头集成到主体以实现高RLR"，体积仅7 mm×8.5 mm×25 mm，RLR达0.6，误差优于1.1 μm。”
    • 李子文 ，赵茂众 ，杜伟 ，吴浩 ，王金栋 ，朱涛
    • 光学精密工程 2025年33卷第22期 页码：3525-3535

    • DOI： 10.37188/OPE.20253322.3525     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253322.3525     

    • 修回：2025-10-22 ，

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