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微纳米三坐标测量机的技术进展
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 微纳米三坐标测量机的技术进展

    • Advances in micro/nano CMM

    • “超精密器件三维形貌测量技术取得突破，介绍了其在微纳米三坐标测量机领域的研究进展，研究团队历经四代样机探索了纳米级精度测量课题，为高端装备制造质量保障提供了新方案。”
    • 何亚雄 ，李瑞君 ，黄强先 ，程真英 ，范光照
    • 光学精密工程 2025年33卷第23期 页码：3672-3690

    • DOI： 10.37188/OPE.20253323.3672     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253323.3672     

    • 修回：2025-07-28 ，

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