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涡旋光干涉精密位移测量技术：进展、挑战与展望
现代应用光学 | 更新时间：2026-10-20
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    • 涡旋光干涉精密位移测量技术：进展、挑战与展望

    • Precision displacement measurement based on vortex beam interferometry： progress， challenges， and perspectives

    • “超精密光学位移测量是纳米基础研究、超精密加工与半导体装备制造的核心支撑技术，介绍了其在超精密光学计量领域的研究进展，研究团队系统综述了共轭涡旋光干涉位移测量技术，探索了六大主流技术路线，为新一代超精密光学计量体系的构建奠定了基础。”
    • 任凯利 ，杜艺 ，段玉婷 ，徐咏 ，李思奇 ，刘继红 ，王国玺
    • 光学精密工程 2026年34卷第19期 页码：3027-3055

    • DOI： 10.3724/OPE.20263419.3027     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263419.3027     

    • 修回：2026-09-03 ，

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