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晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-10-20
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    • 晶圆激光隐切焦点高速动态跟踪与误差补偿

    • High-speed dynamic focus tracking and error compensation for wafer laser stealth dicing

    • “研究人员提出基于激光三角测量的焦点动态跟踪与误差补偿方法，"采用离线静态标定与在线动态修正相结合的两级补偿架构"，将轨迹跟踪误差由±3.5 μm优化至±0.50 μm，为高端超薄晶圆高速高精度隐形切割提供解决方案。”
    • 董岱 ，孙虎 ，崔建华 ，宋亚军 ，赵会宁 ，夏豪杰
    • 光学精密工程 2026年34卷第19期 页码：3056-3068

    • DOI： 10.3724/OPE.20263419.3056     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263419.3056     

    • 修回：2026-07-24 ，

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