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X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制

    • Feedforward compensation control of X-Y precise positioning table using inversed-sensitive function

    • 崔晶 ，王迪凡
    • 光学精密工程 2015年23卷第4期 页码：1081-1087

    • DOI： 10.3788/OPE.20152304.1081     

      中图分类号：

    • 修回：2014-9-20 ，

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