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压电驱动微点胶器的控制与实验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 压电驱动微点胶器的控制与实验

    • Control and experiment of micro-dispenser by piezoelectric drive

    • 范增华 ，荣伟彬 ，王乐锋 ，孙立宁
    • 光学精密工程 2016年24卷第5期 页码：1042-1049

    • DOI： 10.3788/OPE.20162405.1042     

      中图分类号：

    • 修回：2016-3-10 ，

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