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常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高
常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高
Improvement of bias stability of micromechanical silicon resonant accelerometer at room temperature
- 光学精密工程 2016年24卷第5期 页码:1050-1056
DOI: 10.3788/OPE.20162405.1050
修回:2016-1-15
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