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常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高

    • Improvement of bias stability of micromechanical silicon resonant accelerometer at room temperature

    • 董景新 ,严斌 ,尹永刚
    • 光学精密工程 2016年24卷第5期 页码:1050-1056
    • DOI: 10.3788/OPE.20162405.1050     

      中图分类号:
    • 修回:2016-1-15 ,

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