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利用体块PZT制备膜片式压电微泵
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 利用体块PZT制备膜片式压电微泵

    • Fabrication of micro diaphragm piezoelectric pump by using bulk PZT

    • 李以贵 ，黄远 ，颜平 ，王欢 ，杉山进
    • 光学精密工程 2016年24卷第5期 页码：1072-1079

    • DOI： 10.3788/OPE.20162405.1072     

      中图分类号：

    • 修回：2016-2-15 ，

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