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大行程纳米级定位工作台的结构设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 大行程纳米级定位工作台的结构设计

    • Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke

    • 陈琦
    • 光学精密工程 2016年24卷第5期 页码：1065-1071

    • DOI： 10.3788/OPE.20162405.1065     

      中图分类号：

    • 修回：2015-12-5 ，

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