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叠堆式压电陶瓷驱动器的复合控制
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 叠堆式压电陶瓷驱动器的复合控制

    • Feed-forward control of stack piezoelectric actuator

    • 刘长利 ,胡守柱 ,郭海林 ,王学军 ,章文俊
    • 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码:2248-2254
    • DOI: 10.3788/OPE.20162409.2248     

      中图分类号:
    • 录用:2016-5-27 ,

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