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叠堆式压电陶瓷驱动器的复合控制
叠堆式压电陶瓷驱动器的复合控制
Feed-forward control of stack piezoelectric actuator
- 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码:2248-2254
DOI: 10.3788/OPE.20162409.2248
录用:2016-5-27
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相关作者
徐振邦
朱明超
崔靖凯
周宇飞
贺顺锋
崔靖凯
赛华阳
张恩阳
相关机构
中国科学院大学
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学 材料与光电研究中心
山东大学 空间科学研究院
山东大学 前沿交叉科学青岛研究院


