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压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证

    • Dynamic hysteresis modeling and experimental verification of piezoelectric positioning stage

    • 杨晓京 ,彭芸浩 ,李尧
    • 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码:2255-2261
    • DOI: 10.3788/OPE.20162409.2255     

      中图分类号:
    • 录用:2016-5-21 ,

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