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压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证
压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证
Dynamic hysteresis modeling and experimental verification of piezoelectric positioning stage
- 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码:2255-2261
DOI: 10.3788/OPE.20162409.2255
录用:2016-5-21
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